至純科技
上海至純潔凈系統科技股份有限公司的主營(yíng)業(yè)務(wù)為半導體制程設備、工藝支持設備的研發(fā)和生產(chǎn)銷(xiāo)售,以及由此衍生的高純工藝系統建設、電子材料、部件清洗及晶圓再生等服務(wù)。公司的主要產(chǎn)品為高純工藝集成系統、半導體設備、光傳感及光器件。公司于2019年3月完成對波匯科技的收購,波匯科技主要業(yè)務(wù)為光傳感應用及相關(guān)光學(xué)元器件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。公司多項技術(shù)已達到國際先進(jìn)水平。