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拓荊科技股份有限公司主要從事高端半導體專(zhuān)用設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售和技術(shù)服務(wù)。公司主要產(chǎn)品為半導體薄膜沉積設備包括PECVD設備、ALD設備及SACVD設備三個(gè)系列。公司是國內唯一一家產(chǎn)業(yè)化應用的集成電路PECVD、SACVD設備廠(chǎng)商,以前后兩任董事長(cháng)為核心的五名國家級海外高層次專(zhuān)家組建起一支國際化的技術(shù)團隊,形成了三大類(lèi)半導體薄膜設備產(chǎn)品系列,先后四次承擔國家重大科技專(zhuān)項/課題,被中國半導體行業(yè)協(xié)會(huì )評為2016年度、2017年度、2019年度“中國半導體設備五強企業(yè)”。公司獲得2017年遼寧省政府頒發(fā)的“遼寧省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步一等獎”,中國電子專(zhuān)用設備工業(yè)協(xié)會(huì )2016年度“中國半導體創(chuàng )新產(chǎn)品”認證,2019年國家知識產(chǎn)權局頒發(fā)的“國家知識產(chǎn)權示范企業(yè)”稱(chēng)號,2021年中國集成電路創(chuàng )新聯(lián)盟頒發(fā)的“技術(shù)創(chuàng )新獎”,中國半導體行業(yè)協(xié)會(huì )頒發(fā)的2016年、2017年、2019年“中國半導體設備五強企業(yè)”稱(chēng)號。
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